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可靠性試驗芯片封裝失效分析的意義
電子元器件的失效是指產(chǎn)品不能正常的工作或者工作時的電學性能和物理參數(shù)不能達到預期的標準。它與器件的可靠性是一對相對的概念。產(chǎn)品的失效按不同的劃分標準分可以分為很多種。雖然失效的種類很多,但是他們的共同之處就是影響器件的正常使用。特別是現(xiàn)階段的集成電路產(chǎn)業(yè)中,一個器件就可能集成上百萬,千萬個晶體管,而一個微小的晶體管的失效就可以造成器件的損壞,更嚴重的是影響系統(tǒng)的正常工作。對于民用塑15封集成電路來說,失效降低了器件的可靠性,從而可以導致成本的上升和市場競爭力的下降;對于可靠性要求嚴格的軍用和航天集成電路來說,失效可以導致的導彈或者火箭軌跡誤差,誤爆等災難,造成的經(jīng)濟上的損失更大。因此,對失效原因的查找,也就是失效分析,是必須進行的環(huán)節(jié)。
現(xiàn)在集成電路產(chǎn)業(yè)中,一個器件從設計的流向市場,要經(jīng)歷工藝生產(chǎn),硅片級測試,封裝,老化測試等環(huán)節(jié),而每個大環(huán)節(jié)中又包括許多的小環(huán)節(jié);并且在整個流程中所涉及的學科范圍很廣泛,包括物理,化學,機械,自動化,材料等。這些環(huán)節(jié)都是串行下去的,因此如果一個小環(huán)節(jié)出現(xiàn)問題,無論人為因素還是非人為因素都能導致這條生產(chǎn)線上的器件出現(xiàn)失效問題,這就無形中增加了器件的成本,從質(zhì)量上和價格上降低產(chǎn)品的市場競爭力。例如有人估計90nm 器件的一套掩模成本可能超過130 萬美元。因此器件缺陷造成的損失代價極為高昂。對器件的失效分析,就是為了找出哪一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)的問題并導致的失效。由于一塊器件最終形成涉及到很多學科,因此失效分析也是各種學科綜合運用的過程。失效分析是通過對失效器件進行各種測試和物理,化學等試驗,確定器件的失效模式;失效模式確定的越具體和越準確,對失效原因診斷的準確性和改進措施制定的針對性就越有指導價值。
通過失效分析,特別是對現(xiàn)場使用的失效器件的分析,可以發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)和管理上存在的許多技術(shù)方面的問題。通過對這些問題的反饋,一方面為產(chǎn)品試驗提供理論依據(jù)和試驗分析手段,另外一方面為技術(shù)部門,制造部門,質(zhì)量管理部門,維修部門提供及時的科學依據(jù),使生產(chǎn)技術(shù)得到改進。最終達到消除失效,提高生產(chǎn)和封裝工藝水平,提高材料質(zhì)量,同時提高器件的可靠性,減少器件流向市場的缺陷和時間,提高產(chǎn)品的經(jīng)濟價值和市場競爭力的目的。 良好的失效分析,不應該停留在“售后服務”的形式上,而應該貫穿于產(chǎn)品的開發(fā),制造和銷售的全過程。它除了找出已發(fā)生的失效的原因并提出改進措施外,還應該提出有可能出現(xiàn)的新的失效,并提出相應的預防措施,為可靠性設計與新產(chǎn)品的研發(fā)提供先決條件。失效工作也應該是系統(tǒng)化全方面,建立失效分析數(shù)據(jù)庫,將發(fā)生過的和預測中的失效模式,失效機理以及改進措施集中起來,這樣一旦遇到相關(guān)或者相似的失效,就可以縮短失效分析和問題解決得時間。在集成電路產(chǎn)業(yè)化,特別是塑封商業(yè)化的今天,這一點時間就決定了產(chǎn)品的成本和市場競爭力。
失效是集成電路產(chǎn)業(yè)的必然結(jié)果。在隨著集成度的不斷提高和工藝線寬的不斷縮小,而出現(xiàn)新的失效;隨著封裝過程中所用的材料和封裝形式的更新,而發(fā)生新的變化;據(jù)統(tǒng)計,隨著集成電路每發(fā)展六年,是小分析的難度就提高一個數(shù)量級。因此,失效分析是在集成電路嚴峻并長期存在的問題。
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