真空密封技術術語介紹

1.真空法蘭連接

在兩個法蘭之間用一個適宜的可變形的密封拌造成一個真空密封連接的一種可揮部式真空連接。

2.真空密封墊

放置于兩個零件之間的一個可拆卸的真空連接件，用其進行密封的一種可變彭的構件。在某些

場合借助于支承架(例如墊圈密封) ，材料的選擇要程所要求的真空范圍需定，通常用彈性體或金屬。

3.真空密封圈

一種環形真空密封件。

注:有各種不同截面形狀的真空密封圈，例如:"0"形密封圈產V"形密封圈， "L"形密封圈和其它型材的密封件〈金屬型材密封件)。

4.真空平密封墊

用扁平材料制得的一種真空密封件。

5.真空引入線

通過真空容器器壁使運動氣體或被體、電流或電壓傳遞或引入的一種裝置。這種裝置通常支承在真空容器對大氣密封的法蘭上。

在真空中能用來作多種運動，一般來說作于動和麓轉運動的傳遞運動的真空引入線稱作為"多關節操作視。"

6.真空軸密封

用來密封軸的一種真空密封件，它能將旋轉和(或)移動運動相對地傳遞到真空容器器壁內。

真空窗裝在真空容器器壁上能霞電碰輻射或微粒輻射穿透的一種裝置(倒如列納爾特窗)。

7.觀察竄

作為理察裝置運轉情況的一種真空窗。

注：在某些應用場合必須對觀察窗的光學性能提出一定的要求。

8.真空隔門的特性

主要是萄真空間門外殼對大氣的真空密封住，真空間門的流導和真空隔門的閥座漏氣率。

9.真空閥門的流導

在間門打開狀態下的氣體流動的琉導。

注：2 在樣本中，真空閥門的流導常常以"當量管長度"列出，這里設管的名義口徑與閥的名義口在相同。

10.真空閥門的閥座漏氣率

在關閉狀態下由閥座漏入的氣體流率。它取決于氣體種類、壓力、溫度和調門出、進氣口的壓

差。

11.真空調節閥

能調節由真空闊隔開的真空系統部件之間的流率的一種真空閥。

12.微謂閥

用來微量調節進入真空系統中的氣體量的真空閥。

13.充氣閥

擔氣體充入真空系統的閥。

14.進氣閥

將氣體放入到真空系統中的一種真空控制閥。