正航整理抽氣裝置真空技術術語

1.抽氣裝置的抽氣量

流經抽氣裝置進氣口的氣體流量。

2.真空系統的放氣速率

由真空系統所有表面解吸氣體所產生的氣體流量。

注：在真空系統內部經常出現一種漏氣假象。這種情況叫做"虛漏"。

3.真空系統的漏氣速率

由于漏氣滲入到真空系統中并影響真空容器中壓力的氣體流量。

4.真空容器的升壓速率

在溫度保持不變時，抽氣系統關閉后，在給定時間間隔內容器的壓力升高量除以該時間間隔之商。該商有可能不是恒定的。

5.壓力

泵在工作時，空載于燥的真空容器逐漸接近穩定的壓力。

6.殘余壓力

經過一定時間的抽氣之后或真空過程結束之后還存在于真空容器中的氣體或氣體棍合物(殘余

氣體)的全壓。在某些情況下殘余壓力等于壓力。

注:在真空技術中，"氣體"→詞按廣義的理解，即可適用于非冷凝性氣體也可應用于蒸汽。

7.殘余氣體譜

真空容器中殘余氣體的質譜。

8.基礎壓力

在真空容器中可以開始實施工藝時的壓力。

注:在某些真空工藝中，例如表面的分析，基礎壓力也稱作為"本底壓力"。

9.工作壓力

在真空容器中為實施工藝所必需的壓力(可能還有壓力范圍)。

10.粗抽時間

前級真空泵或前級真空抽氣裝置從大氣壓抽至基礎壓力或抽至在較低壓力下工作的真空泵的

起動壓力所需要的時間。

11.抽氣時間

將真空系統的壓力從大氣壓降低到一定壓力，例如降到基礎壓力所需要的時間。

12.真空系統時間常數

將真空容器中的壓力降低到初始壓力的l/e 所需要的時間。在抽速恒定時，該時間常數為容器

體積除以抽氣系統的抽速得出之商。

13.真空系統進氣時間

經過規定的裝置放入的空氣使真空系統(或真空容器)內的壓力由工作壓力升高到較高的壓力

(一般到大氣壓)所需要的時間。如果放入的是空氣，那么該時間稱作為"通大氣時間"。